Y gwerth targed ar gyfer lleithder cymharol mewn ystafell lân lled-ddargludyddion (FAB)

Y gwerth targed ar gyfer lleithder cymharol mewn ystafell lân lled-ddargludyddion (FAB) yw tua 30 i 50%, gan ganiatáu ymyl gwall cul o ±1%, fel yn y parth lithograffeg – neu hyd yn oed yn llai yn y parth prosesu uwchfioled pell (DUV) – tra mewn mannau eraill gellir ei ymlacio i ±5%.
Oherwydd bod gan leithder cymharol amrywiaeth o ffactorau a all leihau perfformiad cyffredinol ystafelloedd glân, gan gynnwys:
1. Twf bacteriol;
2. Ystod cysur tymheredd ystafell ar gyfer staff;
3. Mae gwefr electrostatig yn ymddangos;
4. Cyrydiad metel;
5. Cyddwysiad anwedd dŵr;
6. Diraddio lithograffeg;
7. Amsugno dŵr.

Gall bacteria a halogion biolegol eraill (llwydni, firysau, ffyngau, gwiddon) ffynnu mewn amgylcheddau â lleithder cymharol o fwy na 60%. Gall rhai cymunedau bacteriol dyfu ar leithder cymharol o fwy na 30%. Mae'r cwmni'n credu y dylid rheoli lleithder yn yr ystod o 40% i 60%, a all leihau effaith bacteria a heintiau anadlol.

Mae lleithder cymharol yn yr ystod o 40% i 60% hefyd yn ystod gymedrol ar gyfer cysur dynol. Gall gormod o leithder wneud i bobl deimlo'n stwff, tra gall lleithder islaw 30% wneud i bobl deimlo croen sych, wedi cracio, anghysur anadlol ac anhapusrwydd emosiynol.

Mae'r lleithder uchel mewn gwirionedd yn lleihau croniad gwefrau electrostatig ar wyneb yr ystafell lân – canlyniad dymunol. Mae lleithder isel yn ddelfrydol ar gyfer cronni gwefr ac yn ffynhonnell a allai fod yn niweidiol o ollyngiad electrostatig. Pan fydd y lleithder cymharol yn fwy na 50%, mae'r gwefrau electrostatig yn dechrau gwasgaru'n gyflym, ond pan fydd y lleithder cymharol yn llai na 30%, gallant barhau am amser hir ar inswleiddiwr neu arwyneb heb ei seilio.

Gellir defnyddio lleithder cymharol rhwng 35% a 40% fel cyfaddawd boddhaol, ac mae ystafelloedd glân lled-ddargludyddion fel arfer yn defnyddio rheolyddion ychwanegol i gyfyngu ar gronni gwefrau electrostatig.

Bydd cyflymder llawer o adweithiau cemegol, gan gynnwys prosesau cyrydu, yn cynyddu gyda chynnydd lleithder cymharol. Mae pob arwyneb sy'n agored i'r awyr o amgylch yr ystafell lân yn gyflym.