Gwerth targed lleithder cymharol mewn ystafell lân lled-ddargludyddion (FAB).

Mae gwerth targed lleithder cymharol mewn ystafell lân lled-ddargludyddion (FAB) tua 30 i 50%, sy'n caniatáu ymyl gwall cul o ± 1%, megis yn y parth lithograffeg - neu hyd yn oed yn llai yn y prosesu uwchfioled pell (DUV) parth – tra mewn mannau eraill gellir ei lacio i ±5%.
Oherwydd bod gan leithder cymharol ystod o ffactorau a all leihau perfformiad cyffredinol ystafelloedd glân, gan gynnwys:
1. Twf bacteriol;
2. Amrediad cysur tymheredd ystafell ar gyfer staff;
3. Mae tâl electrostatig yn ymddangos;
4. Metel cyrydiad;
5. Anwedd anwedd dŵr;
6. Diraddio lithograffeg;
7. Amsugno dŵr.

Gall bacteria a halogion biolegol eraill (llwydni, firysau, ffyngau, gwiddon) ffynnu mewn amgylcheddau gyda lleithder cymharol o fwy na 60%. Gall rhai cymunedau bacteriol dyfu ar leithder cymharol o fwy na 30%. Mae'r cwmni'n credu y dylid rheoli lleithder yn yr ystod o 40% i 60%, a all leihau effaith bacteria a heintiau anadlol.

Mae lleithder cymharol yn yr ystod o 40% i 60% hefyd yn ystod gymedrol ar gyfer cysur dynol. Gall gormod o leithder wneud i bobl deimlo'n stwff, tra gall lleithder o dan 30% wneud i bobl deimlo'n sych, croen wedi'i dorri, anghysur anadlol ac anhapusrwydd emosiynol.

Mae'r lleithder uchel mewn gwirionedd yn lleihau'r casgliad o daliadau electrostatig ar wyneb yr ystafell lân - canlyniad dymunol. Mae lleithder isel yn ddelfrydol ar gyfer cronni tâl ac yn ffynhonnell niweidiol bosibl o ollyngiad electrostatig. Pan fydd y lleithder cymharol yn fwy na 50%, mae'r taliadau electrostatig yn dechrau gwasgaru'n gyflym, ond pan fo'r lleithder cymharol yn llai na 30%, gallant barhau am amser hir ar ynysydd neu arwyneb heb ei ddaear.

Gellir defnyddio lleithder cymharol rhwng 35% a 40% fel cyfaddawd boddhaol, ac mae ystafelloedd glân lled-ddargludyddion yn gyffredinol yn defnyddio rheolaethau ychwanegol i gyfyngu ar groniad taliadau electrostatig.

Bydd cyflymder llawer o adweithiau cemegol, gan gynnwys prosesau cyrydiad, yn cynyddu gyda chynnydd mewn lleithder cymharol. Mae pob arwyneb sy'n agored i'r aer o amgylch yr ystafell lân yn gyflym.