Cynllun Aer Dychwelyd Eilaidd ar gyfer System Aerdymheru

Y gweithdy micro-electronig gydag ardal ystafell lân gymharol fach a radiws cyfyngedig o ddwythell aer dychwelyd a ddefnyddir i fabwysiadu'r cynllun aer dychwelyd eilaidd ar gyfer system aerdymheru. Defnyddir y cynllun hwn yn gyffredin hefyd ynystafelloedd glânmewn diwydiannau eraill fel fferyllol a gofal meddygol. Gan fod y gyfaint awyru i fodloni gofynion lleithder tymheredd ystafell lân yn gyffredinol yn llawer llai na'r gyfaint awyru sydd ei angen i gyrraedd y lefel glendid, felly, mae'r gwahaniaeth tymheredd rhwng yr aer cyflenwi a'r aer dychwelyd yn fach. Os defnyddir y cynllun aer dychwelyd cynradd, mae'r gwahaniaeth tymheredd rhwng pwynt cyflwr yr aer cyflenwi a phwynt gwlith yr uned aerdymheru yn fawr, mae angen gwresogi eilaidd, gan arwain at wrthbwyso gwres oer yn y broses trin aer a mwy o ddefnydd o ynni. Os defnyddir y cynllun aer dychwelyd eilaidd, gellir defnyddio'r aer dychwelyd eilaidd i ddisodli gwresogi eilaidd y cynllun aer dychwelyd cynradd. Er bod addasu'r gymhareb aer dychwelyd cynradd ac eilaidd ychydig yn llai sensitif nag addasu'r gwres eilaidd, mae'r cynllun aer dychwelyd eilaidd wedi'i gydnabod yn eang fel mesur arbed ynni aerdymheru mewn gweithdai glân micro-electronig bach a chanolig.

Cymerwch weithdy glân microelectroneg dosbarth 6 ISO fel enghraifft, ardal gweithdy glân o 1,000 m2, uchder nenfwd o 3 m. Paramedrau dylunio mewnol yw tymheredd tn = (23 ± 1) ℃, lleithder cymharol φn = 50% ± 5%; Cyfaint y cyflenwad aer dylunio yw 171,000 m3/h, tua 57 h-1 o amseroedd cyfnewid aer, a chyfaint yr aer ffres yw 25 500 m3/h (y mae cyfaint aer gwacáu proses yn 21 000 m3/h, a'r gweddill yn gyfaint aer gollyngiad pwysau positif). Y llwyth gwres synhwyrol yn y gweithdy glân yw 258 kW (258 W/m2), cymhareb gwres/lleithder y cyflyrydd aer yw ε = 35 000 kJ/kg, a gwahaniaeth tymheredd aer dychwelyd yr ystafell yw 4.5 ℃. Ar yr adeg hon, cyfaint aer dychwelyd cynradd
Ar hyn o bryd, dyma'r math mwyaf cyffredin o system aerdymheru puro a ddefnyddir yn ystafell lân y diwydiant microelectroneg, gellir rhannu'r math hwn o system yn bennaf yn dair math: AHU+FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (Coil sych) +FFU. Mae gan bob un ei fanteision a'i anfanteision a'i leoliadau addas, mae'r effaith arbed ynni yn dibynnu'n bennaf ar berfformiad yr hidlydd a'r ffan ac offer arall.

1) System AHU+FFU.

Defnyddir y math hwn o ddull system yn y diwydiant microelectroneg fel "y ffordd o wahanu'r cyfnod aerdymheru a phuro". Gall fod dau sefyllfa: un yw bod y system aerdymheru yn delio ag aer ffres yn unig, ac mae'r aer ffres wedi'i drin yn dwyn holl lwyth gwres a lleithder yr ystafell lân ac yn gweithredu fel aer atodol i gydbwyso'r aer gwacáu a gollyngiad pwysau positif yr ystafell lân, gelwir y system hon hefyd yn system MAU + FFU; Y llall yw nad yw cyfaint yr aer ffres yn unig yn ddigon i ddiwallu anghenion llwyth oerfel a gwres yr ystafell lân, neu oherwydd bod yr aer ffres yn cael ei brosesu o'r cyflwr awyr agored i wahaniaeth enthalpi penodol pwynt gwlith y peiriant gofynnol yn rhy fawr, ac mae rhan o'r aer dan do (sy'n cyfateb i aer dychwelyd) yn cael ei ddychwelyd i'r uned trin aerdymheru, wedi'i gymysgu â'r aer ffres ar gyfer trin gwres a lleithder, ac yna'n cael ei anfon i'r plenum cyflenwi aer. Wedi'i gymysgu â'r aer dychwelyd ystafell lân sy'n weddill (sy'n cyfateb i aer dychwelyd eilaidd), mae'n mynd i mewn i'r uned FFU ac yna'n ei anfon i'r ystafell lân. Rhwng 1992 a 1994, bu ail awdur y papur hwn yn cydweithio â chwmni o Singapôr ac arweiniodd fwy na 10 o fyfyrwyr graddedig i gymryd rhan yn nyluniad y fenter ar y cyd rhwng yr Unol Daleithiau a Hong Kong, SAE Electronics Factory, a fabwysiadodd y math olaf o system aerdymheru ac awyru puro. Mae gan y prosiect ystafell lân ISO Dosbarth 5 o tua 6,000 m2 (1,500 m2 ohono wedi'i gontractio gan Asiantaeth Atmosfferig Japan). Mae'r ystafell aerdymheru wedi'i threfnu'n gyfochrog ag ochr yr ystafell lân ar hyd y wal allanol, a dim ond wrth ymyl y coridor. Mae'r pibellau aer ffres, aer gwacáu ac aer dychwelyd yn fyr ac wedi'u trefnu'n llyfn.

2) Cynllun MAU+AHU+FFU.

Mae'r ateb hwn i'w gael yn gyffredin mewn gweithfeydd microelectroneg gyda gofynion tymheredd a lleithder lluosog a gwahaniaethau mawr mewn llwyth gwres a lleithder, ac mae'r lefel glendid hefyd yn uchel. Yn yr haf, mae'r aer ffres yn cael ei oeri a'i ddadleithio i bwynt paramedr sefydlog. Fel arfer mae'n briodol trin yr aer ffres i bwynt croestoriad y llinell enthalpi isometrig a'r llinell lleithder cymharol 95% o'r ystafell lân gyda thymheredd a lleithder cynrychioliadol neu'r ystafell lân gyda'r gyfaint aer ffres mwyaf. Pennir cyfaint aer y MAU yn ôl anghenion pob ystafell lân i ailgyflenwi'r aer, ac fe'i dosbarthir i'r AHU o bob ystafell lân gyda phibellau yn ôl y gyfaint aer ffres gofynnol, ac fe'i cymysgir â rhywfaint o aer dychwelyd dan do ar gyfer trin gwres a lleithder. Mae'r uned hon yn dwyn yr holl lwyth gwres a lleithder a rhan o lwyth cryd cymalau newydd yr ystafell lân y mae'n ei gwasanaethu. Anfonir yr aer a drinnir gan bob AHU i'r plenum aer cyflenwi ym mhob ystafell lân, ac ar ôl cymysgu eilaidd â'r aer dychwelyd dan do, caiff ei anfon i'r ystafell gan yr uned FFU.

Y prif fantais i'r ateb MAU+AHU+FFU yw, yn ogystal â sicrhau glendid a phwysau positif, ei fod hefyd yn sicrhau'r gwahanol dymereddau a lleithder cymharol sydd eu hangen ar gyfer cynhyrchu pob proses ystafell lân. Fodd bynnag, yn aml oherwydd nifer yr AHUau sydd wedi'u sefydlu, mae arwynebedd yr ystafell yn fawr, mae piblinellau aer ffres, aer dychwelyd a chyflenwi aer yr ystafell lân yn croesi ei gilydd, yn meddiannu lle mawr, mae'r cynllun yn fwy trafferthus, mae cynnal a chadw a rheoli yn anoddach ac yn fwy cymhleth, felly nid oes gofynion arbennig cyn belled ag y bo modd i osgoi'r defnydd.