Cynllun Awyr Dychwelyd Eilaidd Ar gyfer System Cyflyru Aer

Y gweithdy micro-electronig gydag ardal ystafell lân gymharol fach a radiws cyfyngedig dwythell aer dychwelyd a ddefnyddir i fabwysiadu'r cynllun aer dychwelyd eilaidd o system aerdymheru. Defnyddir y cynllun hwn yn gyffredin hefyd mewnystafelloedd glânmewn diwydiannau eraill megis fferyllol a gofal meddygol. Oherwydd bod y cyfaint awyru i fodloni gofynion lleithder tymheredd ystafell lân yn gyffredinol yn llawer llai na'r cyfaint awyru sydd ei angen i gyrraedd y lefel glendid, felly, mae'r gwahaniaeth tymheredd rhwng yr aer cyflenwad a'r aer dychwelyd yn fach. Os defnyddir y cynllun aer dychwelyd cynradd, mae'r gwahaniaeth tymheredd rhwng pwynt cyflwr aer cyflenwad a phwynt gwlith yr uned aerdymheru yn fawr, mae angen gwresogi eilaidd, gan arwain at wrthbwyso gwres oer yn y broses trin aer a mwy o ddefnydd o ynni . Os defnyddir y cynllun aer dychwelyd eilaidd, gellir defnyddio'r aer dychwelyd eilaidd i ddisodli gwresogi eilaidd y cynllun aer dychwelyd cynradd. Er bod addasiad y gymhareb aer dychwelyd cynradd ac uwchradd ychydig yn llai sensitif nag addasiad y gwres eilaidd, mae'r cynllun aer dychwelyd eilaidd wedi'i gydnabod yn eang fel mesur arbed ynni aerdymheru mewn gweithdai glân micro-electronig bach a chanolig. .

Cymerwch weithdy glân microelectroneg ISO dosbarth 6 fel enghraifft, ardal y gweithdy glân o 1 000 m2, uchder y nenfwd o 3 m. Paramedrau dylunio mewnol yw tymheredd tn = (23±1) ℃, lleithder cymharol φn = 50% ±5%; Cyfrol cyflenwad aer y dyluniad yw 171,000 m3/h, tua 57 h-1 amseroedd cyfnewid aer, a chyfaint yr aer ffres yw 25 500 m3/h (y mae cyfaint aer gwacáu'r broses yn 21 000 m3/h, ac mae'r gweddill yn cyfaint aer gollwng pwysau positif). Y llwyth gwres synhwyrol yn y gweithdy glân yw 258 kW (258 W / m2), cymhareb gwres / lleithder y cyflyrydd aer yw ε = 35 000 kJ / kg, a gwahaniaeth tymheredd aer dychwelyd yr ystafell yw 4.5 ℃. Ar yr adeg hon, mae'r cyfaint aer dychwelyd cynradd o
Ar hyn o bryd dyma'r math mwyaf cyffredin o system puro aerdymheru a ddefnyddir yn ystafell lân y diwydiant microelectroneg, gellir rhannu'r math hwn o system yn dri math yn bennaf: AHU + FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (Coil sych) + FFU. Mae gan bob un ei fanteision a'i anfanteision a lleoedd addas, mae'r effaith arbed ynni yn bennaf yn dibynnu ar berfformiad yr hidlydd a'r gefnogwr ac offer arall.

1) System AHU + FFU.

Defnyddir y math hwn o ddull system yn y diwydiant microelectroneg fel "y ffordd o wahanu'r cyfnod aerdymheru a phuro". Efallai y bydd dwy sefyllfa: un yw bod y system aerdymheru yn delio ag awyr iach yn unig, ac mae'r aer ffres wedi'i drin yn dwyn holl lwyth gwres a lleithder yr ystafell lân ac yn gweithredu fel aer atodol i gydbwyso'r aer gwacáu a gollyngiadau pwysedd positif o'r ystafell lân, gelwir y system hon hefyd yn system MAU + FFU; Y llall yw nad yw cyfaint yr aer ffres yn unig yn ddigon i ddiwallu anghenion llwyth oer a gwres yr ystafell lân, neu oherwydd bod yr awyr iach yn cael ei brosesu o'r cyflwr awyr agored i'r pwynt gwlith, mae gwahaniaeth enthalpi penodol y peiriant gofynnol yn rhy fawr. , ac mae rhan o'r aer dan do (sy'n cyfateb i aer dychwelyd) yn cael ei ddychwelyd i'r uned trin aerdymheru, wedi'i gymysgu â'r awyr iach ar gyfer triniaeth gwres a lleithder, ac yna'n cael ei anfon at y cyflenwad aer plenum. Wedi'i gymysgu â'r aer dychwelyd ystafell lân sy'n weddill (sy'n cyfateb i aer dychwelyd eilaidd), mae'n mynd i mewn i'r uned FFU ac yna'n ei anfon i'r ystafell lân. Rhwng 1992 a 1994, cydweithiodd ail awdur y papur hwn â chwmni o Singapôr ac arwain mwy na 10 o fyfyrwyr graddedig i gymryd rhan yn nyluniad menter ar y cyd yr Unol Daleithiau-Hong Kong SAE Electronics Factory, a fabwysiadodd y math olaf o buro aerdymheru a system awyru. Mae gan y prosiect ystafell lân ISO Dosbarth 5 o tua 6,000 m2 (yr oedd 1,500 m2 ohoni wedi'i chontractio gan Asiantaeth Atmosfferig Japan). Trefnir yr ystafell aerdymheru yn gyfochrog ag ochr yr ystafell lân ar hyd y wal allanol, a dim ond wrth ymyl y coridor. Mae'r aer ffres, yr aer gwacáu a'r pibellau aer dychwelyd yn fyr ac wedi'u trefnu'n esmwyth.

2) Cynllun MAU+AHU+FFU.

Mae'r ateb hwn i'w gael yn gyffredin mewn planhigion microelectroneg â gofynion tymheredd a lleithder lluosog a gwahaniaethau mawr mewn llwyth gwres a lleithder, ac mae'r lefel glendid hefyd yn uchel. Yn yr haf, mae'r awyr iach yn cael ei oeri a'i ddadhumideiddio i bwynt paramedr sefydlog. Fel arfer mae'n briodol trin yr awyr iach i bwynt croestoriad y llinell enthalpi isometrig a llinell lleithder cymharol 95% yr ystafell lân gyda thymheredd a lleithder cynrychioliadol neu'r ystafell lân gyda'r cyfaint aer ffres mwyaf. Mae cyfaint aer MAU yn cael ei bennu yn unol ag anghenion pob ystafell lân i ailgyflenwi'r aer, ac fe'i dosberthir i AHU pob ystafell lân gyda phibellau yn ôl y cyfaint aer ffres gofynnol, ac mae'n gymysg â rhywfaint o aer dychwelyd dan do ar gyfer gwres a thrin lleithder. Mae'r uned hon yn cario'r holl lwyth gwres a lleithder a rhan o lwyth rhewmatiaeth newydd yr ystafell lân y mae'n ei gwasanaethu. Mae'r aer sy'n cael ei drin gan bob AHU yn cael ei anfon i'r plenwm aer cyflenwi ym mhob ystafell lân, ac ar ôl cymysgu'n eilaidd â'r aer dychwelyd dan do, caiff ei anfon i'r ystafell gan yr uned FFU.

Prif fantais yr ateb MAU + AHU + FFU yw, yn ogystal â sicrhau glendid a phwysau cadarnhaol, ei fod hefyd yn sicrhau'r gwahanol dymereddau a'r lleithder cymharol sy'n ofynnol ar gyfer cynhyrchu pob proses ystafell lân. Fodd bynnag, yn aml oherwydd y nifer o AHU sefydlu, meddiannu'r ardal ystafell yn fawr, yr ystafell lân awyr iach, aer dychwelyd, piblinellau cyflenwad aer crisscross, meddiannu gofod mawr, y cynllun yn fwy trafferthus, cynnal a chadw a rheoli yn fwy anodd ac yn gymhleth, felly, dim gofynion arbennig cyn belled ag y bo modd i osgoi'r defnydd.