
DATRYSIAD Lled-ddargludyddion BSLtech
Yn aml, mae datblygu eich arbenigedd o fewn y diwydiant lled-ddargludyddion yn gofyn am ystafelloedd glân neu gabinetau llif laminar gyda dosbarth ISO uchel (ISO 5 neu uwch). Ydych chi'n delio â phrosesau sy'n sensitif i UV? Hyd yn oed wedyn, mae BSL yn cyflenwi'r ystafell lân gywir. Mae gan yr ystafelloedd glân orffeniad wal o ansawdd uchel ac mae ganddynt oleuadau gyda hidlydd UV. Trwy ddefnyddio deunyddiau gwrth-statig (ESD) a bariau gwrth-statig ar y system hidlo, mae'r gwefr statig yn yr awyr yn niwtraleiddio.
Pan nad oes angen dadnwyo, mae BSL yn cynnig ystafell lân o ddeunyddiau nad ydynt yn allnwyo (PU). Mae'r dechnoleg hon yn tarddu o'r diwydiant awyrofod.
Prosesau nodweddiadol yn y diwydiant lled-ddargludyddion:
● Diogelu swbstradau a waferi silicon
● Ymchwil EUV
● Alinwyr masgiau
● Gorchudd gwactod, dyddodiad ffilm denau
● Cymwysiadau argraffu
● Opteg
Prosesau blaen a chefn